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UINICS CO.,LTD

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SP-833A

MFC(マスフローコントローラ)制御ユニット SP-833A

  • SP-832に積算機能を搭載したタイプ
  • ポテンションによる流量設定
  • バルブ開閉信号出力
  • 瞬時・積算流量表示 (切換式)
  • 警報出力
  • MFC電源±15V400mA
  • CE対応


 「電源容量がSP-833と異なりますので注意願います」
  SP-833:
    DC±15V 400mA


  SP-833A:
    DC±15V 各250mA
    またはDC+15V 150mA、DC-15V 350mAにも対応

標準仕様


計測・表示
計測種類 MFC流量値(瞬時)/MFC積算値(積算)
計測方式 A/D変換方式

 分解能:約1/7000(フルスケール入力に対して)

入力計測間隔:約20ms
ローカット 最大アナログ入力の0〜29% (任意設定可)
表示部
表示器 赤色LED5桁表示 文字高:8mm (ゼロプランキング方式)
表示切換 MFC流量値/MFC積算値の表示を ▲キーで切換え

(”モード4”で設定が必要)       ※D ISPスイッチがOU T時

RAランプ MFC流量値を表示中 ”RA” ランプ(赤色) が点灯
TOランプ MFC積算値を表示中 ”TO” ランプ(赤色)が点灯
OVランプ 表示計測値がオーバー時 ”OV” ランプ(赤色)が点灯

(右シフト表示中は点滅します)

OU T1ランプ 警報出力OU T1が出力中に点灯
OU T2ランプ 警報出力OU T2が出力中に点灯
MFC流量値表示
計測精度 アナログ入力に対して±0.3%(F.S.) ±1digit (23℃)
スケーリング方式 アナログ入力最大時のMFC流量値表示を任意に設定可

(0.001〜9999)

表示範囲 0〜9999 (表示オーバー時は「9999」点滅、OVランプ点灯)
小数点表示 最大表示値(モードNO.1)にて設定
表示サンプリング時間 表示を約0.5秒で平均化 (固定)
最下位桁補正 ”通常”・”0固定”・”0または5表示”  より選択可
MFC積算値表示
計測精度 アナログ入力に対して±0.3%(F.S) ±1digit (23℃)
スケーリング方式 モード設定によりアナログ入力最大値における、1時間あたりの

MFC積算値を任意に設定

表示範囲 0〜99999
小数点表示 小数点以下を1〜4桁の範囲で選択可
オーバー表示 99999表示以上になると自動で表示値が1桁右へシフト表示

(以降右シフト表示)します。右シフト表示中、OVランプ点滅

×10倍表示をオーバーすると、OVランプが点灯しエンドレス表示

表示オフセット 表示オフセット値設定によりリセット後のMFC積算値を

0〜99999の範囲で任意に設定可

入力信号
MFC流量信号

(MFCからの出力信号)

DC 0−5V  D−sub  入力抵抗 330kΩ
外部設定信号 DC 0−5V  端子台   入力抵抗 330kΩ
VOR IN 外部からVOR操作可

端子台5番(+15V)−7番(VOR IN)間ショートでOPEN

端子台6番(−15V)−7番(VOR IN)間ショートでCLOSE

操作部
メカダイアル

(CMDSET)

10回転のメカダイアル 目盛りの最小値1/50  1回転

ロックレバー付き (回転・目盛りを固定)

(ダイアルの目盛りは回転量の目安です)

コマンド設定ポテンション

(CMDSET)

MFCを任意の流量値に設定
VORスイッチ ノブを引っ張りながら切換える3ポジション

C ON T  :(通常時)

OPE N   :VOR出力へ+15Vを出力

CLOSE  :VOR出力へー15Vを出力

コマンド切換スイッチ

(C OMMAND)

EXT :外部設定値信号が流量設定値表示となります。

 INT :CMDSETメカダイアル(CMD)の設定が流量設定値表示となります。

表示切替スイッチ

(D ISP)

SET :流量設定値(C OMMANDに対する)の値を表示

OUT :MFC流量値、MFC積算値を表示

操作設定スイッチ MODE、right、▲、RSTの各キースイッチ
出力関係
MFC電源定格 DC±15V 各250mA

またはDC +15V 150mA、 DC −15V 350mAにも対応

リップルノイズ:30mV以下

コマンドアウト DC 0−5V 5mA D - sub
外部信号出力 DC 0−5V 端子台
バルブ開閉出力 VOR OPEN  DC +15V

VOR CLOSE DC −15V

警報・同期出力
出力端子 端子台11−12(OUT1)、13−12(OUT2) より出力 (COM共通)
比較方式 上限・下限 より選択可
出力モード 比較・同期パルス (OU T1:モードにて選択可)
プリセット値設定 プリセット値設定モードにより任意に設定可
出力判定 表示値とプリセット値との比較により、判定出力
出力方式 NPNオープンコレクタ出力 2点

最大定格:DC30V 50mA MAX

その他
データバックアップ 各モード設定値および積算計測値をFRAMに書き込み

(書き換え回数10万回以内、約10年間保持)

モードプロテクト機能 モードプロテクト設定による切換え選択

「ON」で設定値が変更不可、「OFF」で設定値が変更可

ウォームアップタイム 電源投入後30分以上
電源 AC100〜240V (−15%/+10%) 270mA max

50/60Hz 約35VA以下

使用温湿度範囲 0〜50℃  30〜80%RH         (但し結露しないこと)
質量・外形寸法 約 400g  W96×H48×D156mm
本体色 黒色
ケース材質 ABS
使用環境 屋内使用 最大高度2000m 過電圧カテゴリU 汚染度2

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